Průvodce výběrem vakuové pumpy ---
Při výběru vakuové pumpy je třeba věnovat pozornost následujícím věcem:
1. Pracovní tlak vývěvy by měl splňovat požadavky na maximální vakuum a pracovní tlak vakuového zařízení. Například: vakuové nanášení vyžaduje stupeň vakua 110-5 mmHg a stupeň vakua vybrané vakuové pumpy musí být alespoň 510-6 mmHg. Obvykle je stupeň vakua vývěvy zvolen tak, aby byl o polovinu až jeden řád vyšší než stupeň vakua vakuového zařízení.
2. Správně zvolte pracovní bod vývěvy. Každý typ čerpadla má určitý rozsah pracovního tlaku, například 10-3~10-7 mmHg pro difuzní čerpadlo. V tak širokém tlakovém rozsahu se rychlost čerpání čerpadla mění s tlakem a jeho stabilní rozsah pracovního tlaku je 510-4 ~510-6 mmHg. Proto by měl být pracovní bod pumpy zvolen v tomto rozsahu a nelze jej nechat pracovat pod 10-8 mmHg po dlouhou dobu. Dalším příkladem je, že titanová sublimační pumpa může pracovat při 10-2 mmHg, ale její pracovní tlak by měl být nižší než 110-5 mmHg.
3. Vývěva by měla být schopna vypustit veškerý plyn vznikající během procesu vakuového zařízení pod svým pracovním tlakem. 4. Správně spojte vývěvu. Vzhledem k tomu, že vývěvy mají selektivní čerpací schopnosti, někdy jeden typ vývěv nemůže splnit požadavky na čerpání a je třeba kombinovat několik vývěv, aby se vzájemně doplňovala, aby byly splněny požadavky na čerpání. Například titanové sublimační čerpadlo má vysokou čerpací rychlost pro vodík, ale nemůže čerpat helium, zatímco trojpólové rozprašovací iontové čerpadlo (nebo diodové asymetrické katodové rozprašovací iontové čerpadlo) má určitou čerpací rychlost pro argon. Společně vakuové zařízení získá lepší stupeň vakua. Některé vývěvy navíc nemohou pracovat pod atmosférickým tlakem a vyžadují předběžné vakuum; některá vakuová čerpadla mají výstupní tlak nižší než atmosférický tlak a vyžadují podpůrné čerpadlo, takže je třeba čerpadla kombinovat.
5. Požadavky na znečištění olejem ve vakuových zařízeních. Pokud zařízení striktně vyžaduje bezolejová čerpadla, měla by být vybrána různá bezolejová čerpadla, jako jsou: vodní prstencová čerpadla, adsorpční čerpadla s molekulárním sítem, rozprašovací iontová čerpadla, kryogenní čerpadla atd. Pokud požadavky nejsou přísné, můžete si vybrat mít olejové čerpadlo a přidat některá opatření proti znečištění olejem, jako je přidání vymrazovačů, přepážek, odlučovačů oleje atd., abyste dosáhli požadavků na čisté vakuum.
6. Porozumět složení čerpaného plynu, zda obsahuje kondenzovatelné páry, zda se v něm vyskytují pevné částice, zda je korozivní atd. Při výběru vývěvy je třeba znát složení plynu a vybrat odpovídající vývěvu pro plyn být čerpán. Pokud plyn obsahuje páry, částice a korozivní plyny, měli byste zvážit instalaci pomocných zařízení, jako jsou kondenzátory, lapače prachu atd., na přívodní vzduchové potrubí čerpadla.
7. Jaký vliv mají olejové páry vypouštěné z vývěvy na životní prostředí? Pokud prostředí neumožňuje znečištění, můžete zvolit bezolejovou vývěvu nebo vypustit olejové páry venku.
8. Mají vibrace vytvářené vývěvou během provozu nějaký dopad na proces a životní prostředí? Pokud to proces neumožňuje, je třeba zvolit čerpadlo bez vibrací nebo provést antivibrační opatření.
9. Cena, provoz a náklady na údržbu vývěv.